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日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強(qiáng)的安全性

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更新時(shí)間:2025-01-14

產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

愛(ài)發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強(qiáng)的安全性。
 



真空泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象:真空泵運(yùn)行過(guò)載報(bào)警。

2、原因分析:

經(jīng)對(duì)真空泵進(jìn)行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問(wèn)題點(diǎn):

不良現(xiàn)象 原因分析

(1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

(2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:

因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,齒輪潤(rùn)滑油因高溫氧化積碳。

(3)軸承磨損:

因軸承潤(rùn)滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

(4)軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

(5)軸套磨損:

因高溫運(yùn)行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。


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